微机电系统技术基础

1 (p0-1): 1 微机电系统概述
1 (p0-2): 1.1 微机电系统技术的基本概念及特点
3 (p0-3): 1.2 微机电系统的研究领域
5 (p0-4): 1.3 微机电系统采用的材料
6 (p0-5): 1.4 主要工艺技术
6 (p0-6): 1.5 微机电系统技术的发展
8 (p0-7): 1.6 微机电系统的应用前景
10 (p0-8): 参考文献
11 (p0-9): 2 微机电系统的材料
11 (p0-10): 2.1 概述
12 (p0-11): 2.2 硅
15 (p0-12): 2.3 陶瓷
17 (p0-13): 2.4 金属
20 (p0-14): 2.5 凝胶
22 (p0-15): 2.6 电流变体（Electro-rheological fluids,ERF）
23 (p0-16): 2.7 磁流变体（Magneto-rheologicalfluids,MRF）
25 (p0-17): 参考文献
26 (p0-18): 3 硅集成电路工艺基础
26 (p0-19): 3.1 薄膜生长
42 (p0-20): 3.2 光刻
52 (p0-21): 3.3 薄膜刻蚀
59 (p0-22): 参考文献
61 (p0-23): 4 MEMS加工技术
62 (p0-24): 4.1 硅的湿法腐蚀
68 (p0-25): 4.2 硅的深刻蚀技术
71 (p0-26): 4.3 键合与双面光刻技术
75 (p0-27): 4.4 集成工艺
81 (p0-28): 4.5 其他工艺技术
86 (p0-29): 参考文献
88 (p0-30): 5 微机电系统的设计方法学
88 (p0-31): 5.1 MEMS设计概述
91 (p0-32): 5.2 MEMS系统级设计
95 (p0-33): 5.3 MEMS器件级设计
106 (p0-34): 5.4 MEMS工艺设计
113 (p0-35): 5.5 版图设计
116 (p0-36): 5.6 IMEE系统及其设计实例
130 (p0-37): 参考文献
132 (p0-38): 6 微机电系统的组成
132 (p0-39): 6.1 微机械传感器
157 (p0-40): 6.2 微驱动器
174 (p0-41): 6.3 微能源
183 (p0-42): 参考文献
186 (p0-43): 7 微机电系统检测技术
186 (p0-44): 7.1 概述
187 (p0-45): 7.2 微几何量测量
198 (p0-46): 7.3 微机械材料特性检测
220 (p0-47): 参考文献
222 (p0-48): 8 微机电系统的应用
222 (p0-49): 8.1 微机电系统在医学中的应用
232 (p0-50): 8.2 微机电系统在汽车中的应用
236 (p0-51): 8.3 微机电系统在信息技术中的应用
247 (p0-52): 8.4 微机电系统在军事领域中的应用
266 (p0-53): 参考文献 本书系统地介绍了有关微机电系统的知识, 主要内容包括微机电系统的基本概念, 微机电系统所用材料, 微机电系统的加工技术, 微机电系统的设计技术等