Silizium-Planartechnologie: Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. Hans-Günther Wagemann, Dr.-Ing. Tim Schönauer (auth.)Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verständlicher Form vorgestellt. Der Leser erfährt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden können. Aufgrund der großen Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird ergänzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.
种类:
年:
2003
出版:
1
出版社:
Vieweg+Teubner Verlag
语言:
german
页:
212
ISBN 10:
3519004674
ISBN 13:
9783519004677
系列:
Teubner Studienbücher Physik
文件:
PDF, 12.84 MB
IPFS:
,
german, 2003
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